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第一三八六章 光刻机的现状(下)

作者:解剖老师字数:2367更新:2024-06-27 10:43

“董事长,要是nikon在我们之前,率先攻克157nm激光器技术,率先研发成功65nm制程工艺的光刻机,我们如何应对?”

cto汤普森知道euv光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,gca研究院如今也在研发157nm激光器,由于gca一直以研发euv为主,157nm激光器的技术远不如nikon和svg,投资10美元,要是能够收购svg,拿到svg独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术,不能反超nikon,也能同nikon并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购svg,汤普森也不理解。

euvllc联盟规划投资2亿美元,集合200多位顶尖科学家,目的就是从理论上验证了euv光刻机的可行性?理论验证完成后,euvllc联盟将宣布解散,将研制euv和euv光刻机的难题交给gca,据同行在一起估算,研发投资起码要花50亿美元!

汤普森领导euvllc联盟的200多位科学家,研究了2年多,还没有验证清楚euv光刻机的可行性?

“汤普森院长的担忧也有道理,除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外,艾德里安先生可以同papken先生接触一下,看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利?价格可以商量”

papken是svg的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购svg的事情,但汤普森的提问代表gca高层的疑惑,不得不正面回应。

当时因为bsec研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术,孙健不反对gca研究院两条腿走路,但bsec研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术,gca再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举,但也不能打击众人的积极性。

“好的,董事长!”

艾德里安心里好奇,为什么孙董事长不同意收购svg?似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持,难道还有更好的方法?明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长,euvllc联盟一旦从理论上验证了euv光刻机的可行性后,要是gca继续研发euv光刻机,理论上大概需要多少投资”

孙健转移话题,也是告诉公司高层,gca账上的现金流不是多了,而是远远不够。

前世,euvllc联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多,发表了几百篇科研论文,从理论上验证了euv光刻机是可行的,目的达到,解散了euvllc联盟,接下来的实际问题都抛给了asml,面对如此高深的技术,asml是选择做还是不做?

asml一家之力不可能完成研制成功euv光刻机这项宏伟工程,不得不拿出公司近三成的股权,向下游光刻机重要客户intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元!

据说为了研发euv光刻机,asml前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。

gca和nikon占据光刻机的高端市场,技术水平不分仲伯,但由于高端光刻机用户intel、ibm、it、adm、hp同gca既是sematech会员,又是gca的股东,采用一致对外的策略,gca的高端光刻机是首选,gca如今占据全球高端市场份额的近7成,nikon占3成多。

在技术水平相同的情况下,市场起决定因素。

根据光刻机技术和市场占有率,gca如今成为名副其实的全球老大,nikon屈居第二。

nikon想从gca的手里抢回intel、ibm、it、adm、hp的高端光刻机订单,只能率先攻克193nm波长的世界性难题,第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。

在nikon技术领先的情况下,intel、ibm、it、adm、hp就会以公司的利益为重。

asml的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发,于1996年9月,研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统,但为时已晚,asml和其他光刻机公司都购买了bsec的专利技术,自己生产光刻机双工作平台系统,bsec负责升级;除了gca,其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1的专利使用费。

gca如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术,遥遥领先于asml的技术,按照专利技术转让协定,bsec交给了nikon、asml、canon和svg。

全球光刻机用户已经习惯使用bsec磁悬浮式双工作台系统技术,asml在中高端光刻机上还是使用bsec的,在低端光刻机上使用自研的。

魏建国等bsec的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识,1999年度,公司光靠这项全球领先的公司发明专利,收取的专利技术转让费就达到公司净利润的165,这些年赚得盆满钵满。

asml先后在阿姆斯特丹和纳斯达克上市,研发资金有了保障,去年10月,第三个研发成功180nm制程工艺的光刻机,技术水平排在canon的前面,凭借欧洲和韩国光刻机市场,占据全球中高端市场5成的市场份额。

第三大股东飞利浦公司不看好asml的发展前景,加上公司电器业务出现问题,造成资金紧张,在高位逐渐清空了asml的股票,退出了董事会,蔡司集团成为第三大股东。

asml如今总股本增加到15000万股(去年10送5股),tic持有2250万股,占股15,这些年没有买也没有套现。

asml在纳斯达克市场上的股票收盘235美元,l不仅是一个投资品种,也是一个备胎。

“孙总,据大家私下估算,没有50亿美元的投入,看不到euv光刻机的影子。”

汤普森感觉压力巨大,孙董事长似乎知道研究euv光刻机的重要性和难度,投入巨资,最后失败了,gca可能要破产!

众董事也是一脸惊讶,这是第一次从汤普森的口里得知,即使euvllc联盟验证euv光刻机的可行性,gca继续研发euv光刻机,起码还需要50亿美元的研发投入!

一旦失败,对gca将造成毁灭性的打击,但孙董事长似乎并不担心。


  
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